固态前驱体材料源瓶
规格：1L、1.2L、1.8L、5L、8L、10L等 罐装化学品：ALCl3、HfCl4、ZrCl4、Cl2Mo02、MoCl等
所属分类：
产品描述
源瓶工厂主要研发及生产针对CVD/ALD工艺制程中各类型液体前驱体、固态前驱体包装容器，工厂配备千级、万级及十万级洁净室，严格控制生产环境的洁净度，确保产品最终达到半导体要求，公司还采购了先进的激光下料、CNC精密加工、自动设备焊接、管道微焊、自动抛光、精密检测等国内外先进设备。
公司引进了日本表面处理工艺，确保源瓶内表面电化学抛光及精密清洗达到半导体先进水平，获得国内外客户的高度认可。已为客户开发、试制并批量供应了多种类型的取样及存储容器，广泛应用于半导体、液晶、光伏、LED等领域，完全满足行业的高品质要求。
详细参数：
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材料 |
阀件：316L EP；瓶体：316L（提供钛、哈氏合金）内部EP处理，Ra≤0.15μm |
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可装化学品纯度 |
≤99.9999999%（9N） |
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气密性检测 |
≤1.0X10-10mbar.L/S（也参考阀门漏率） |
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介质 |
固态/硅吸附前驱体材料、硅基材料和高纯有机化合物 |
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出场可检测项目 |
抗压性、气密性、水分、氧含量、颗粒物、粗糙度、金属离子析出等 |
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可提供制造认证项目 |
UN\压力容器和ASME UM U项目 |
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容积与尺寸 |
供应了超过200种规格的容器（25mL-26m³） |
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其他选项 |
接口形式、阀门数量、输出及清扫工艺等 |
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关键词：
固态前驱体材料源瓶
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