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机械抛光：通过精密研磨提升设备表面平整度，为后续处理奠定基础。机械抛光最高表面光洁度可达Ra≤0.05μm。

3,000(L)×1,500(W)×1,500(H) 1槽(SUS专用)

3,000(L)×3,000(W)×2,500(H) 1槽(SUS专用) 2,000(L)×1,500(W)×1,500(H) 2槽(SUS专用)

超声波脱脂槽，中和槽，可以对管道类，腔体类，填料类等产品的表面以及缝隙内的残留液，进行中和处理，可使表面更加洁净。

500(L)×1200(W)×1500(H) 1台; 7000(L)×6000(W)×4500(H) 1台

通过多级纯化（反渗透、离子交换、超滤、紫外线氧化等）达到近乎理论纯度，仅用于对纯度要求极高的场景

规格：500L、900L、1000L、2600L、26000L等罐装化学品：TEOS、HCDS、BDEAS等

规格：1L、1.2L、1.8L、5L、8L、10L等罐装化学品：ALCl3、HfCl4、ZrCl4、Cl2Mo02、MoCl等

规格：25mL、50mL、100mL、200mL等罐装化学品：液态取样需求

规格：1L、1.2L、1.8L、3L、7L、10L（支持非标定制）罐装化学品：Ti\Zr\Hf类前驱体，液体粘度较大前驱体等

规格：SG2、SG5、SG10、SG55等罐装化学品：TEOS、HCDS、BDEAS等

规格：0.2kg、0.5kg、1kg、2kg、4kg、16kg、70kg等罐装化学品：TMI、TMG、TMA、TEG等

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